三次元計測SEM

three dimensional SEM, 3D-SEM

[目次：装置]

試料表面にある試料の凹凸の高さを測定することを目的としたSEM。
SEMは焦点深度が大きいため、試料表面の凹凸の全体がボケずに観察することができる。しかし、1枚のSEM像から試料表面の凹凸の高さを知ることはできない。そこで、複数（通常は4個）のペア検出器を、電子プローブ直下の試料に対して回転対称に配置して、その出力信号を演算することで、凹凸の高さを測定できる。このようなSEM を三次元測定SEMという。試料表面の凹凸の高さの数値化、試料の任意の断面図作成、試料表面の鳥瞰図作成、試料表面の粗さの統計処置などが可能になっている。

The three dimensional SEM (3D-SEM) is a SEM aimed to measure the height of the unevenness of a specimen.
Since the SEM has a large focal depth, the entire topography of the specimen can be observed without image blurring. However, the height of the unevenness cannot be measured from one SEM image. The height of the unevenness can be measured by performing addition / subtraction calculations of the output signals from the pair detectors, which are (normally two pairs or four detectors) are placed rotational-symmetrically with respect to the specimen and beneath the electron probe. The 3D-SEM allows for quantification of the height, creation of the map of an arbitrary cross section, creation of a bird’s eye view of the specimen, and a statistical processing of the surface roughness of the specimen.