軸合わせ

optical-axis alignment, axis alignment, alignment

[目次：装置]

レンズの光軸に一致するように電子線を入射させる操作。SEMでは一般に、電子銃から放出された電子線を集束レンズの光軸に一致させる操作と、集束レンズから出射された電子線を対物レンズの光軸に一致させる操作を行う。前者は明るい像を得るためであり、後者は高い解像力を得るためである。

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