状態分析

chemical state analysis, state analysis

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電子線照射による信号発生領域の化学結合状態を調べる分析法。元素を調べる組成分析に対比して使われる用語。特性X線を利用した場合、WDSでは可能であるが、EDSではエネルギー分解能が低いため状態分析はほとんど不可能である。カソードルミネッセンスを使うと可能となる場合がある。

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