照明効果

illumination effect

[目次：理論]

SEM像は、検出器方向から光を当てたようなコントラストを持っており、これを照明効果と言う。これは、試料から放出されて検出器に入る二次電子、反射電子の軌道を逆進するような光で照明されるように見えることから起きることである。アウトレンズ検出器、下方検出器では照明効果は強く現れるが、ＴＴＬ検出器の場合は一様な照明となり、照明効果は弱い。

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