真空排気系

evacuation system

[目次：装置]

鏡筒、試料室などを真空排気するための真空ポンプシステム。低真空用ポンプ、高真空用ポンプ、真空計、制御回路などで構成され、起動後、粗引き、本引きまで自動的に動作する。また、真空弁の誤作動などに対応したインターロック機構が設けられている。なお、FESEMでは、電子銃室用として独立したスパッタイオンポンプが用いられており、連続運転されている。

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