走査反射電子顕微鏡

scanning reflection electron microscope, scanning electron diffraction microscope, SREM

[目次：装置]

試料表面での結晶成長を観察するためのSEM。結晶性試料の表面に浅い角度で電子プローブを入射させたときに起きる電子回折の特定の反射の強度を、像信号として利用する。電子回折パターンを観察するための蛍光スクリーンと特定の回折スポットを選択するための絞り（あるいは検出器）などが必要である。また、結晶成長をさせるための蒸着源が備えられている。像は回折コントラストで形成されるが、表面現象を扱うため超高真空の試料室が必要である。EBSDでは結晶方位分布が得られるのに対して、SREMでは局部的な回折条件の変化や単原子ステップなど単原子レベルの表面の微細構造を観察することができる。

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