ターゲット金属

target metal

[目次：試料作製]

イオンスパッタ装置あるいはイオンビームスパッタ装置を使って、試料表面に金属コーティングを行うときの金属材料。イオンスパッタ装置では白金、白金パラジウム、金パラジウム、金など、イオンビームスパッタ装置ではそれに加えてカーボン、クロムなどが使われる。

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