対物レンズ

objective lens, OL

[目次：装置]

電子プローブを試料表面にフォーカスするために、試料の最も近くに置かれるレンズ。このレンズの収差が小さいほど、電子プローブ径を小さくすることができる。試料を対物レンズの下側に置くアウトレンズ型、試料をレンズの中に置くインレンズ型、その中間のセミインレンズ型の3種類のレンズがある。
通常、磁場レンズが利用されている。最近、1kV以下の極低加速電圧で高い空間分解能を得るために、磁場レンズと静電レンズを組み合わせた電磁場重畳レンズが登場している。

The objective lens is a lens that is placed close to a specimen to focus an electron probe onto the surface of the specimen. The diameter of the electron probe can be made smaller when the aberration of the lens is smaller. Three types of objective lenses are available; the out-lens objective lens below which the specimen is placed, the in-lens objective lens inside which the specimen is placed, and the semi-in-lens objective lens whose structure is a compromise of the out-lens- and in-lens-objective lenses.
A magnetic field lens is generally used for the objective lens. Recently, an electromagnetic-and-electrostatic composite lens has been available to acquire a high spatial resolution image at a low accelerating voltage below 1 kV.