断面観察

cross-sectional observation

[目次：観察手法]

試料断面を観察することで、試料の内部構造や基板表面に積層された薄膜の成膜状況を観察すること。断面を作製するには、割断、機械研磨、ウルトラミクロトームによる切削のほかイオンビーム加工が用いられる。試料によっては断面を作製した後、適当な方法でコントラスト付けを行う必要がある。

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