低加速STEM

low-voltage STEM

[目次：観察手法]

SEMの付属機能としてSTEM観察ができるようにしたもので、最高加速電圧30kV程度のSTEM。なお、STEMと言うと、通常は専用機あるいはTEMの付属機能としてのSTEMを意味するが、これらは100～200kVの加速電圧を使っている。

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