低加速電圧観察

low-voltage observation, low-voltage scanning electron microscopy, LV-SEM

[目次：観察手法]

数kVより低い加速電圧を使った観察。熱電子銃SEMでは5kV程度まで低加速電圧として扱うが、FE-SEMでは1～2ｋV以下を意味することが多い。目的は、表面観察、非導電性試料の観察、試料損傷の低減などである。

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