ティルト補正

tilt compensation, tilt correction

[目次：装置]

平坦な試料を傾斜して観察すると、画面上の長さが傾斜方向では短く見える。これを補正して、試料面を垂直な方向から見たようにする機能。この補正を行うために、傾斜方向の電子プローブの走査幅を圧縮するので、SEM像は実際には歪んでいる。凹凸のある試料に対してこの機能を適用すると、逆に像が歪んでしまうので使ってはいけない。

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