デュアルビームFIB

dual-beam FIB

[目次：装置]

SEMの電子光学系とFIBのイオン光学系を一つの試料室に配し、FIB加工した断面をそのままSEMで観察できるようにしたシステム。通常SEMとFIBの光学系はお互いに60゜傾いている。

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