電子回折

electron diffraction

[目次：理論]

結晶性試料に電子線を照射すると、散乱した電子は一様な分布にならず、ブラッグ条件を満たす特定の方向に強度を持つような分布をする。これを電子回折と呼び、電子の波動性によるものである。散乱方向にスクリーンを置くと、回折パターンが観察できるが、SEMの場合はバルク試料での非弾性散乱の結果、バンドで構成された菊池パターンが観察される。

関連用語から探す