電子ビームテスタ

electron-beam tester, EB tester

[目次：装置]

LSIの電気特性を試験するためのLSIテスタと、ストロボSEMを組み合わせた装置。SEMの電子プローブを電位測定用プローブとして利用し、試料から放出された二次電子のエネルギー分析を行うことで回路の電圧を測定できる。ストロボ像モード、ストロボ波形モードと組み合わせて、LSIの故障診断や動作テストをより実用的に行えるようにしてある。

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