電離真空計

ionization gauge

[目次：装置]

高電圧を掛けたときの気体の電離を利用して、生成されたイオンの数から圧力を測定する真空計。放電を利用したペニング真空計、熱電子による電離を利用した熱陰極電離真空計があるが、単に電離真空計といった場合、後者を指すことが多い。

関連用語から探す