ドローアウト試料ステージ

draw-out stage

[目次：装置]

引き出し式の試料ステージ。普及形SEMでは、価格の点から試料交換室を持たず、試料室を大気圧にして試料ステージを引き出し、試料交換を行うものが多い。試料交換に時間が掛かるが、大きな試料を扱えるという利点もある。

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