ノイズキャンセラー

noise canceller

[目次：装置]

FE電子銃では、放出される電子線の電流の変動が大きく、SEM像の明るさが変わったり、像に明暗のすじが入る。この影響を少なくするためには、放出電流の変動を検出して、画像の演算による明るさ変動の除去を行う必要がある。このための検出器および演算回路をノイズキャンセラーと言う。

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