非弾性散乱

inelastic scattering

[目次：理論]

エネルギーの損失を伴う電子の散乱。
入射電子がエネルギーを失う過程には、散乱の際に起こすX線の励起、二次電子やオージェ電子の発生、発光(カソードルミネッセンス(CL))がある。

Scattering of electrons with energy loss.
The energy loss of incident electrons arises from generation of X-rays, secondary electrons, Auger electrons, cathodoluminescence (CL), etc.

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