ピラニ真空計

Pirani gauge

[目次：装置]

真空中で通電加熱された金属線からの放熱量が圧力によって変わり、電気抵抗が変わる現象を利用した真空計。測定可能圧力範囲は大気圧～10^-1Paで、SEMで真空排気系の制御に使われる。

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