プローブトラッキング

probe tracking

[目次：分析]

高倍率で元素マッピングを行うようなとき、長時間のデータ収集となるため、電子プローブの照射位置がずれてしまうことがある。これを防ぐために、分析中の照射位置のずれを検出して、そのずれを補正しながらデータ収集を行う機能。

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