分析FE-SEM

analytical FE-SEM

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単なるSEM像の観察だけでなく、EDS、WDS、EBSDなどの分析機能を備えたFE-SEM。分析機能を重視することから、ショットキー電子銃を搭載したFE-SEMをベースにするのが普通である。汎用形の分析SEMに比べて、高い解像力が得られ、高い空間分解能の分析ができる。

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