分析SEM

analytical SEM

[目次：装置]

単なるSEM像の観察だけでなく、EDS、WDS、EBSDなどの分析機能を備えたSEM。汎用形SEMをベースにした場合は、分析FESEMに比べて、解像力は低く、分析時の空間分解能も低いが、システムは低価格で、手軽に使える。

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