マイクロマニピュレーター

micromanipulator

[目次：装置]

SEM像を観察しながら試料を操作するための装置。試料を取り除いたり、移動して並べることができる。微細な動きを再現良く行うためには、ピエゾ素子を使ったアクチュエータが用いられる。プローブとししては、金属、ガラスなどのほか、カーボンナノチューブを使ったものが開発されている。