マグネトロンスパッタ装置

magnetron-sputter coater

[目次：試料作製]

イオンスパッタ装置の一種。ターゲット付近に磁石を置くことでペニング放電を起こさせるもので、低い電圧でも高いスパッタ速度を得ることができる。現在市販されている多くのイオンスパッタ装置が、このマグネトロンスパッタ方式を採用している。

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