レプリカ法

replica method

[目次：試料作製]

試料表面の凹凸をプラスチックなどに転写して観察するための試料作製法。何らかの理由で、試料がそのままSEMの試料室に持ち込めないときに使われる。凹凸が逆転するほか、転写するときの忠実度が問題となる。元々は、TEMで試料表面の凹凸を観察するために考えられた方法である。

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