アニュラー半導体検出器

annular semiconnductor detector

[目次：装置]

アニュラー半導体検出器とは反射電子の検出を目的とした環状型の半導体検出器。
応用例として、図に示すように、検出器の素子を内周から外周に向けてリング状に分割することによって、試料から放出した反射電子の検出角度を切り替えられるようにした構造の検出器も存在する。この場合、内周の素子を使うと組成情報が多く、外周の素子を使うと凹凸情報が多くなる。また、STEM検出器にも同様の構造のものがある。

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