ガス増幅検出器

gas amplification detector

[目次：装置]

電子雪崩を利用した検出器。
ある圧力に保たれた不活性ガス雰囲気の中に、芯線を張ってそれに強い電場をかけておくと、電場で加速された電子がガス分子と衝突して、ガス分子は分子イオンと電子に分離（電離）する。この電離によって生じた電子が、またガス分子と衝突するという過程が繰り返して、加速度的に電子数が増える（電子雪崩を起こす）。この電子雪崩による電子の増幅作用をガス増幅という。X線の検出器として用いられるガスフロー計数管はガス増幅を利用したものである。そこでは、入射したX線がガスに吸収され一次電子を発生し、その電子がガス増幅され、最終的に電流として測られる。低真空SEM用の電子検出器にもこの原理を利用したものがあり、低真空二次電子検出器（ESEDあるいはGSED）と呼ばれる。

A detector that utilizes a phenomenon of electron avalanche.
When a strong electric field is applied to a core wire which is held in an inert gas atmosphere at a certain pressure, electrons are accelerated by the electric field and collide with gas molecules. Then, the gas molecules are ionized into molecular ions and electrons. The electrons generated by ionization collide with gas molecules repeatedly, and the number of electrons increases at an accelerated rate (causing electron avalanche).
The gas amplification detector utilizes the electron avalanche. For example, a gas flow detector is one of gas amplification detector, in which the incident X-rays are absorbed by the gasses and the primary electrons are generated, and the electrons are amplified by the electron avalanche effect and finally measured as an electron current.
Some electron detectors used for the LVSEM also utilize the electron avalanche. This kind of detector is called a low vacuum secondary electron detector (ESED or GSED).