光学薄膜フェア2022
弊社は2022年11月9日から開催されます「光学薄膜フェア2022」に出展いたします。
ボンバード蒸着源 BS-60610BDSをパネル展示いたします。
皆様のご来場を心よりお待ちしております。
開催日/会場
- 会期 ：
2022年11月9日(水) ～ 11日(金) 10:00～17:00
- ブースNo. ：
4F-04
展示内容
BS-60610BDS ボンバード蒸着源
電子ビームボンバード間接加熱法を利用した真空蒸着源です。
低ダメージ、低欠陥、低吸収、厚膜、ハイレートの成膜に適しています。
電子ビームによる間接加熱方式を採用する事により、蒸着材料の溶け残りや急激な温度上昇が抑えられるため、スプラッシュの発生が、従来の電子銃と比較して大幅に抑制されます。
フッ化物光学膜やAu、Ag、Cuなどの金属膜で低欠陥蒸着を行うことができます。
従来機種（BS-60310BDS）の特長を継承し、ライナー大容量化とハイレート化を実現しています。
関連リンク
お問い合わせ
日本電子株式会社
産業機器営業部
e-mail: sales-ieg[at]jeol.co.jp
TEL: 03-6262-3570
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