非曝露環境下でのリチウムイオン電池のTEM試料作製

リチウムイオン電池は大気成分と反応しやすいため、大気非曝露下での試料搬送及び試料作製が必要です。今回、全固体リチウムイオン電池のシリコン負極材を試料として、集束イオンビーム装置 (FIB) を用いた非曝露TEM試料作製プロセスをご紹介します。
クロスセクションポリッシャ™ (CP) から直接FIB-SEMへ試料搬送することで平滑なCP断面から試料作製が行えるため、より簡便に目的の部位から高品質なTEM試料作製が可能となります。
 

本セミナーは、WEB上で開催されます。WEBに接続できる環境であれば、パソコンからだけでなく、スマートフォンやタブレットからも参加することができます。
皆さまのご参加をお待ちしております。

"このウェビナーから学べること"

• 非曝露TEM試料作製プロセス

"参加いただきたいお客様"

• 大気下で反応しやすい試料でお困りの方
• 電池材料に興味のある方
• 非曝露対応装置の導入をご検討中の方

講演者:

門井 美純

日本電子株式会社
EP事業ユニット
EPアプリケーション部
FIBグループ