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薄膜・積層膜の分析方法をお探しの方へ ~XRF,XPSを用いた分析のご紹介~

公開日: 2023/01/06

更新日: 2023/03/27

試料表面に形成された薄膜・積層膜の元素組成や化学状態、その膜厚を調べるという要求は多くあります。そのような試料の分析には、SEM,TEMを用いて断面観察しながらの分析がよく行われていますが、高度な技能が必要となります。そこで、スクリーニングとして簡単に膜厚評価や状態分析を行いたい方に向けて、複雑な操作を行わず分析可能なXRFとXPSを紹介します。

本セミナーは、WEB上で開催されます。WEBに接続できる環境であれば、パソコンからだけでなく、スマートフォンやタブレットからも参加することができます。
皆さまのご参加をお待ちしております。

このウェビナーから学べること

  • 薄膜分析手法の例

  • XRFを用いた膜厚測定について

  • XPS,XRFを併用する有用性

参加いただきたいお客様

  • 膜厚測定を行いたい方

  • XRFの膜厚測定を高精度に行いたい方

  • XRF,XPSの使用に興味がある方

講演者

村谷 直紀

SA事業ユニット
SA技術開発
第2グループ

開催日/詳細

  • 2023年02月14日 (火) 16:00~17:00

  • 講演後に質疑応答の時間があります。

関連製品

JPS-9030 光電子分光装置(XPS)

JSX-1000S エネルギー分散形蛍光X線分析装置(XRF)

発表資料

  • 講演後のアンケートにご記入いただくとダウンロードができます。

参加費

無料(先着順での受付となります。お早目にお申込みください。)

お申し込み方法

ウェビナーは、終了しました。

動画を公開しておりますので、下記よりお申込みください。

お問い合わせ

日本電子株式会社
デマンド推進本部 ウェビナー事務局
sales1[at]jeol.co.jp

  • [at]は@に、ご変更ください。

動画

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