特長
270° 電子ビーム偏向です。
JEBG-102UH0電子銃 (180° 偏向型) と形状互換性があります。容易に置き換えが可能です。
-4 kV～-8 kVの加速電圧可変機能。チャンバーを大気開放せずに加速電圧の切替が可能です。
基板方向へ飛散する反射電子を著しく低減し、基板へのダメージや膜の吸収を低減させることが可能です。
反射電子トラップと組み合わせて、さらに反射電子ダメージを低減させることができます。
従来電子銃に比べ、電子銃内部の急激な圧力上昇による放電が発生しにくい構造です。
フィラメントアッセンブリの上部交換機構を採用し、フィラメントの交換やクリーニングが容易な構造です。
フィラメント寿命は、従来型フィラメントに比べて、大幅に長寿命化しています。
低圧端子ボックスは、左右取り付け可能な構造です。
JEBG-102UH0との形状互換性
溶跡例
電子ビームは蒸着材料に対して垂直に照射され、ビームスポットは真円に近くエネルギー密度が高いのが特長です。
更に高速のスキャニング機能を標準装備しているため、高融点で熱伝導の低い酸化物や昇華性材料への蒸着に適しています。
良好な溶け跡が得られ、広い成膜エリアにおいて 均一で再現性のある膜厚分布が得られます。
スポット
| 試料 | ZrO2 |
|---|---|
| 加速電圧 | -6 kV |
| エミッション電流 | 180 mA |
| 照射時間 | 4 min |
スキャン (XYスキャン)
スキャン (サークルスキャン)
反射電子トラップと組合わせて反射電子低減
従来電子銃に比べ、基板方向へ飛散する反射電子を著しく低減しました。
反射電子トラップと組み合わせることで、基板に入射する反射電子量を90%以上抑制できます。
基板へのダメージや膜の吸収を低減させることが可能です。
グラフは、反射電子トラップ有無の、基板に到達する反射電子量の測定値です。
タングステンペレットに、電子ビーム (加速電圧-6 kV, エミッション電流100 mA) を照射し、基板ドームに流れる電流から反射電子量を測定しました。
関連リンク
フィラメント寿命
2種類のフィラメントを用い、加速試験でフィラメント寿命を評価しました。
Φ0.55 スパイラル型 (102用)
Φ0.8 U字型 (60060用)
加速試験結果 (フィラメント断線までの時間)
加速試験条件
| テスト装置 | Φ1300 真空蒸着機 |
|---|---|
| 成膜圧力 | 3.0 × 10-2Pa APC (O2) で圧力一定制御 |
| 電子銃出力 | -6 kV 600 mA |
| 蒸着材料 | タングステン |
| 特記事項 | 電子銃るつぼ付近にO2ガス導入 |
放電抑止構造
BS-60060DEBS / BS-60070DEBS電子銃は、従来電子銃に比べ、電子銃内部の急激な圧力上昇による放電が発生しにくい構造に設計されています。
| 圧力 | 0.1 Pa Ar ： 400 mL / min |
|---|---|
| 出力 | -8 kV, 300 mA 10 min |
| 材料 | Ta2O5 |
| 電子銃電源 | JST-16F |
6点ルツボ付きタイプ (オプション)
BS-60070DEBS 電子銃
垂直ポールピースタイプの電子銃です。
特長
(1) 垂直ポールピースの使用によるメンテナンス作業性の向上
ルツボ上にポールピースが存在しないため、アニュラー状の蒸着材料の取付と取り外しが容易に実施できます。
ルツボ上ポールピースの蒸気汚染に起因するコンタミ発生を防止できます。
ポールピースカバーを使用することによりポールピースを取り外すことなくクリーニングが容易に実施可能となります。 またポールピースの取り外しに起因するビーム位置変化を防止できます。
(2) ビーム位置ずれ防止構造
電子銃室内のポールピースの温度上昇を抑制する構造を備えているため、従来の垂直ポールピースタイプの電子銃と比較し、ビーム位置ずれが抑制できます。
リングハース溶跡 (BS-60070DEBS)
ラインスキャン
仕様・オプション
仕様 BS-60060DEBS
| 形式 | BS-60060DEBS |
|---|---|
| 最大出力 | 6.4 kW (8 kV、0.8 A) |
| 加速電圧可変対応 | 有 (-4 kV 〜 -8 kV) |
| ビーム偏向角度 | 270° |
| ビーム偏向磁石 | 電磁石 |
| ビームスキャン範囲 | ±20 mm |
| ビームポジション移動範囲 | ±20 mm |
| ルツボ | 無 (特注にて製作可) |
| 動作圧力 | 5×10-5 Pa 〜 7×10-2 Pa |
| 冷却水流量 | 5〜8 L / min
(水温10〜25°C、差圧0.2〜0.35 MPa) |
| 外形寸法 (mm) | 207 (W) × 215 (D) × 140 (H)
(水口、突起、チューブは含まず) |
| 質量 | 約11kg |
最大出力は電源の最大電力で限定されます。
外形寸法 BS-60060DEBS
仕様 BS-60070DEBS
| 形式 | BS-60070DEBS |
|---|---|
| 最大出力 | 6.4 kW (8 kV、0.8 A) |
| 加速電圧可変対応 | 有 (-4 kV 〜 -8 kV) |
| ビーム偏向角度 | 270° |
| ビーム偏向磁石 | 電磁石 |
| ビームスキャン範囲 | ±20 mm |
| ビームポジション移動範囲 | ±20 mm |
| ルツボ | 無 (特注にて製作可) |
| 動作圧力 | 5×10-5 Pa 〜 7×10-2 Pa |
| 冷却水流量 | 5〜8 L / min
(水温10〜25°C、差圧0.2〜0.35 MPa) |
| 外形寸法 (mm) | 207 (W) × 164 (D) × 185 (H)
(水口、突起、チューブは含まず) |
| 質量 | 約11kg |
最大出力は電源の最大電力で限定されます。
外形寸法 BS-60070DEBS
適用フィラメント 60060/60070 共通
P/N 864353545
旧P/N820463507
5個 / 箱
Φ 0.8 U 字
60060/60070 用
適用フィラメントアッセンブリ 60060/60070 共通
P/N 780406940
60060/60070 用
ポールピースカバー BS-60070DEBS専用
P/N 864969970
アプリケーション
BS-60060DEBSに関するアプリケーション
反射電子低減電子銃BS-60050EBSによる近紫外域低吸収膜の作製
