多目的に応用可能な低エネルギー電子ビーム照射源
特長
低加速電圧による低ダメージ照射
精密な電子ビーム強度分布調整
被照射形状に適したスキャンモード設定
電子ビーム照射源概略図
ビーム走査例
電子照射源の応用例
基板のクリーニング
フィルムの帯電による密着性向上
基板や被膜の表面改質
真空処理装置
ロールコーター
対応電源
BS-720xxICEシリーズ電子銃電源
仕様・オプション
| 加速電圧 | -1kV~-6kV |
|---|---|
| 最大エミッション電流 | 0.2A(加速電圧に依存) |
| 動作圧力 | 5×10-5 ～ 1×10-2 Pa |
