JXA-8230 電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)

すべてのユーザへ親しみやすいPCベースのオペレーション

汎用性が高く手軽なEDSを搭載可能であり、WDSとEDSの連携は、シームレスで手軽な分析環境をご提供します。

特長

PCオペレーション、WD/EDコンバイン、環境への配慮・・・
新世代を担う機能を集約

半世紀の歴史を持つJEOLのEPMA ( Electron Probe Microanalyzer ) が、新しく生まれ変わり、いっそう手軽に利用できる身近な分析装置になりました。
PCウィンドウによる新操作体系へと変わり、測定・解析作業が容易になりました。わずらわしい条件設定作業から解放され、分析したいときにすぐに測定を開始できる機能を用意しています。もちろん、豊富な機能を使いこなす高度な分析も可能です。
長年培った信頼性の高いハードウェアが、新しいEPMAの高精度で迅速な分析を支えています。
JXA-8230は、分析機器としてのEPMAへのあらゆるニーズに、十分お応えできる新世代の装置です。

PCオペレーション

EPMAクイックスタート
プロジェクト管理
EPMAエクスプローラ
X線像 (WDS) リアルタイム合成
EDSアクティブマップ*
新開発、超軽元素用分光素子
ターボ分子ポンプの採用

全スペクトル同時取込

「ここを分析」機能

二次電子像や反射電子像の観察中に、像上の任意の点をクリックするだけでスペクトル収集が始まります。EPMA (WDS) ならではの微量元素の検出や、高精度の定量分析の結果が自動で簡単に得られます。

ユーザーレシピ

よく使う分析条件を「レシピ」としてセーブ・ロードすれば、いつでも誰でも、同じ条件で分析ができます。複数のレシピを組み合わせるだけで連続分析の設定もOKです。

アドバンスドオペレーション

もちろん、詳細な分析条件の設定も思いのまま。こだわりの分析条件を使って微小領域の元素分析ができます。また、豊富なアプリケーションと、これまで以上に使いやすいソフトウェアが多角的なデータ解析をサポートします。

WD/EDコンバインシステム

JEOL製のWDSとEDSをさらに発展させ、使いやすいWD/EDコンバインシステムを実現しました。微量元素の分析が得意なWDSと、JEOLの分析SEMで定評あるEDSシステムとの組み合わせは、例えば広範囲のステージスキャンマップや、定量分析で効率的なデータ収集に最大限の力を発揮します。

仕様・オプション

分析元素範囲	WDS：(Be)※1 /B～U, EDS：B～U
X線分光範囲	WDS分光範囲： 0.087～9.3nm, EDSエネルギーレンジ： 20keV
X線分光器数	WDS ： 1～5基選択、EDS ： 1基
最大試料寸法	100mm × 100mm × 50mm（H）
加速電圧	0.2～30kV（0.1kVステップ）
照射電流範囲	10-12～10-5 A
照射電流安定度	±0.05%/h, ±0.3%/12h（W）
二次電子分解能	6nm（W）, 5nm（LaB6）※2 （W.D. 11mm, 30kV）
走査倍率	×40 ～ ×300,000（W. D. 11mm）
走査像解像度	最大5120 × 3840
カラーディスプレイ	EPMA分析用： LCD 1280 × 1024 SEM操作、 EDS分析用： LCD 1280 × 1024