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1台で表面および内部の3次元画像化や分析が簡単操作で実現でき、FIB加工からSEM観察、EDS、EBSD分析まで全ての機能に配慮した最適配置設計の複合ビーム加工観察装置です。
特長
現在販売中の後継機種は、JIB-4501となります。
1 台で表面および内部の 3 次元画像、分析が簡単操作で実現
FIB 加工から SEM 観察、EDS、EBSD 分析まで全ての機能に配慮した最適配置設計
FIB での加工状況が SEM 画像でリアルタイムにモニタ
無人断面試料作製が可能な自動加工レシピ標準装備
試料保護膜作製用ガスインジェクションシステムを複数装着可能
非導電性試料のチャージ対策に低真空機能を用意
仕様・オプション
FIB (集束イオンビーム)
イオン源 | Ga 液体金属イオン源 |
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加速電圧 | 1~30 kV |
倍率 | ×30 (視野探し)、×100~×300,000 |
像分解能 | 5nm (30kV時) |
ビーム電流 | 0.5pA ~30nA(30kV時) |
SEM (電子ビーム)
加速電圧 | 0.3~30 kV |
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倍率 | ×5~×300,000 |
像分解能 | 2.5nm(30kV時) |
ビーム電流 | 1pA ~1uA |
試料ステージ | ゴニオメータステージ
X:76mm、Y:76mm、Z:5~48mm T:-10~90°、R:360° |
主なアタッチメント
EDS (エネルギー分散型X線分析装置)
EBSD (EBSDシステム)
CLD (カソードルミネッセンス検出器)
SCS (チャンバースコープ)
GIS (ガスインジェクションシステム )
設置条件
電源 | 単相100V±10%、50/60Hz、3kVA、2kVA(2系統) |
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接地端子 | D種接地(100Ω以下)1個 |
室温 | 18~25℃ |
湿度 | 60% 以下 |
外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。