新感覚の操作画面とタッチパネルの採用により直観的な操作が可能となった多機能汎用SEMです。EDSによる元素分析は完全にインテグレーションされています。低真空モードも標準搭載されており、絶縁物観察も前処理の必要なく容易に行えます。
特長
操作性
タッチパネル採用で、直感的に操作できます
様々なナビゲーション
試料交換ナビは順番通りにボタンを押して、試料交換がスムーズにできます。
モーター駆動ステージ(オプション)とステージナビゲーションシステム(オプション)を装着すると、視野探しが光学顕微鏡感覚で行えます。
EDSガイド搭載で分析も迷いません(LAのみ)。
LV標準
非導電性試料も前処理なしで観察・分析が行えます。
EDS完全インテグレート
ワンボタンでSEM/EDSの切換をおこなえます。
SEMと同一ウィンドウでEDSの操作ができます。
応用例
標準レシピを使用して、試料に合わせた条件設定で行うことができます。低真空モード標準搭載なので、無処理の試料も標準レシピによる条件設定で観察できます。
標準レシピを使用して撮影した画像の例を示します。

試料:ハエ 二次電子像
加速電圧:10kV
撮影倍率:×200

試料:樹脂破面 反射電子立体像
加速電圧:10kV
撮影倍率:×1500
低真空モード:50Pa

試料:金属粒子 二次電子像
加速電圧:20kV
撮影倍率:×300

試料:基板 反射電子立体像
加速電圧:15kV
撮影倍率:×25
仕様・オプション
分解能 | 高真空モード: 3 nm(30 kV *1) 4 nm(20 kV)、8 nm(3 kV) 15 nm(1 kV)
低真空モード: 4 nm(30 kV *1) 5 nm(20kV) |
---|---|
倍率 | × 5 ~× 300,000(画像サイズ128 mm × 96 mmにて) |
画像モード | 二次電子像、REF像 組成像、凹凸像、立体像 |
低真空圧力 | 10 ~ 100 Pa |
加速電圧 | 0.5 kV ~ 30 kV *1 (53 段)
0.5 kV ~ 20 kV (43 段) |
フィラメント | プリセンタードヘアピン型タングステン |
電子銃 | 完全自動、手動調整可能 |
コンデンサレンズ | 電磁2段ズームコンデンサレンズ方式 |
対物レンズ | スーパーコニカルミニレンズ |
対物絞り | 1段、XY微調整つき |
非点メモリ | 有り |
イメージシフト | ± 50 μm(作動距離10 mm) |
プリセット倍率 | 5段、ユーザー設定可 |
試料ステージ | ユーセントリックステージ
X : 80 mm Y : 40 mm Z : 5 mm ~ 48 mm 傾斜: -10°~ + 90°、回転: 360° |
最大試料寸法 | 150 mm径 |
試料交換 | ステージ引出し式 |
画像メモリー | 5,120 × 3,840 × 16ビット1枚 |
画素数 | 640 × 480、1,280 × 960、 2,560 × 1,920、 5,120 × 3,840 |
画像処理機能 | デジタルズーム、アベレージング、 デュアルライブ、スプリットライブ、 フレキシブルウィンドウ、
信号加算機能 擬似カラー、デュアルマグ |
測長機能 | 2点間測長、円測定、線幅測定、
角度測定、面積測定、計数(カウント) |
比較画面 | 1画面+SNS画面(オプション*2 ) |
ファイル形式 | BMP、TIFF、JPEG |
画像自動保存 | 有り |
EDS機能*3 | スペクトル収集・点分析、定性分析・定量分析 元素マッピング、プローブトラッキング |
コンピュータ | デスクトップタッチパネルPC |
OS | Windows 7 |
モニター | 23形タッチパネル |
ネットワーク | イーサーネット ワイヤレスLAN (オプション) |
標準レシピ | あり |
カスタムレシピ | 観察条件、試料ステージ、真空モード |
自動機能 | フィラメント調整、アライメント調整、
フォーカス、非点、露出調整 |
排気系 | 完全自動、TMP : 1台、RP : 1台 |
Windows は、米国 Microsoft Corporation の、米国およびその他の国における登録商標または商標です。
主なオプション
加速電圧拡張キット
低真空二次電子検出器
ステージナビゲーションシステム*2
チャンバースコープ
オペレーションキーボード
USB ノブ
可動絞り
モーター駆動ステージ
(2 軸、XYZ3 軸、XYR3 軸 駆動)
画像編集ソフト( スマイルビュー)*3
三次元画像ソフトウェア(3D Sight)
ワイヤレスシステム
マルチビューシステム*4
テーブル(750mm 幅、900mm 幅)
加速電圧拡張キット装着時
モーター駆動ステージ装着時
JSM-6010PLUS/LA に標準
対応するタブレット端末については お問い合わせ下さい。
アプリケーション
JSM-6010PLUS_LAに関するアプリケーション
蛍光X線分析による樹脂表面の異物の検査・分析 - XRFとSEM-EDSによる異物分析 -
走査電子顕微鏡(SEM)でのステレオ(3D)写真の撮影と観察5:ステレオ3Dアナグリフ写真集
走査電子顕微鏡(SEM)でのステレオ(3D)写真の撮影と観察4:アナグリフ方式ステレオ写真
走査電子顕微鏡(SEM)でのステレオ(3D)写真の撮影と観察3:ステレオメガネの紹介
走査電子顕微鏡(SEM)でのステレオ(3D)写真の撮影と観察2:ステレオ写真の見かた
ギャラリー
