特長
Neo Comfortが外部環境に左右されない性能を提供
JEOL 製FE-SEM 防音エンクロージャーにより外乱の影響を低減します。
低減される外乱例：騒音、気流変化、磁場変動*、振動*
*オプション
Neo Comfort
Neo Comfortなし
装置：JSM-IT810 <SIL>
入射電圧：15 kV
作動距離：4.5 mm
信号：二次電子
騒音環境：90 dB
試料：Cu 配線
装置へのアクセスが容易
試料交換やメンテナンスを考慮したフレンドリー設計
ワンハンド式エンクロージャー扉開閉
4インチSiC 基板を装着した様子
仕様・オプション
| サイズ | 幅 1,400 mm × 奥行1,730 mm × 高さ2,250 mm |
|---|---|
| 重量 | 1 t / m2 以下 (FE-SEM 含む) |
| 非常停止ボタン | 標準 |
| タッチパネル | 真空レベル等装置状態を表示 |
| 防音性能 | 140 Hz 以上で5 dB 以上向上 |
| エンクロージャー内照明 | 標準 |
| 固定 | アンカーボルト固定可 |
| 磁場キャンセラー | 組込み可* |
| 平型除振台 | 組込み可* |
| パトライト | 取付可* |
* オプション
※ 外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
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