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JEM-2100は、各機能がPCで一元管理されたハイコストパフォーマンスの200kV汎用形の電子顕微鏡です。バイオからマテリアルまであらゆる分野での研究・開発を支援します。
特長
操作性と拡張性を備えた電子顕微鏡
コストパフォーマンスの良いLaB6電子銃を搭載しています。
0.19 nmの高い分解能 (ポールピース URP 使用 ) を実現しました。
STEM(走査像観察装置)やEDS(エネルギー分散形 X 線分析装置)は本体コントロール用 PC にインテグレーション化されています。
EDS は立体角0.28 sr (ポールピース HRP、50 mm2検出器使用)を実現し、高感度、高分解能分析が可能です。
新設計のゴニオメータステージを採用し、長時間の安定した観察、分析が可能です。
仕様・オプション
バージョン | 超高分解能構成※1 (UHR) |
高分解能構成※1 (HR) |
試料高傾斜構成※1 (HT) |
クライオ構成※1 (CR) |
ハイコントラスト構成※1 (HC) |
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分解能 | |||||
粒子像 | 0.194 nm | 0.23 nm | 0.25 nm | 0.27 nm | 0.31 nm |
格子像 | 0.14 nm | 0.14 nm | 0.14 nm | 0.14 nm | 0.14 nm |
加速電圧 | 80,100,120,160,200 kV | ||||
最小可変加速電圧 | 50 V | ||||
電源安定度 | |||||
加速電圧 | 2×10-6/min | ||||
対物レンズ安定度 | 1×10-6/min | ||||
対物レンズ | |||||
焦点距離 | 1.9 mm | 2.3 mm | 2.7 mm | 2.8 mm | 3.9 mm |
球面収差係数 | 0.5 mm | 1.0 mm | 1.4 mm | 2.0 mm | 3.3 mm |
色収差係数 | 1.1 mm | 1.4 mm | 1.8 mm | 2.1 mm | 3.0 mm |
最小焦点可変量 | 1.0 nm | 1.5 nm | 1.8 nm | 2.0 nm | 5.2 nm |
スポットサイズ | |||||
TEMモード | 20~200 nmφ | 1~5 μmφ | |||
EDSモード | 0.5~25 nmφ (αセクレタ組込み) |
1.0~25 nmφ (αセクレタ組込み) |
1.5~35 nmφ (αセクレタ組込み) |
2.0~45 nmφ (αセクレタ組込み) |
10~500 nmφ |
NBDモード | |||||
CBDモード | |||||
収束電子回折 | |||||
収束角(2α) | 1.5~20 mrad以上 | - | - | ||
取込角 | ±10° | - | - | ||
倍率 | |||||
MAG | ×2,000~ 1,500,000 | ×1,500~1,200,000 | ×1,200~ 1,000,000 | ×1,000~ 800,000 | |
LOW MAG | ×50~6,000 | ×50~2,000 | |||
SA MAG | ×8,000~800,000 | ×6,000~600,000 | ×5,000~600,000 | ×5,000~400,000 | |
カメラ長 | |||||
制限視野回折 | 80~2,000 mm | 100~2,500 mm | 150~3,000 mm | ||
高分散回折 | 4~80 mm | ||||
高分解能回折※2 | 333 mm | ||||
試料室 | |||||
傾斜角 X/Y※3 | ±25/±25° | ±35/±30° | ±42/±30° | ±15/±10° | ±38/±30° |
傾斜角 X※4 | ±25° | ±80° | ±80° | ±80° | ±80° |
試料移動量 | 2 mm (X,Y) 0.2 mm (Z±0.1 mm) | 2 mm (X,Y) 0.4 mm (Z±0.2 mm) | |||
EDS(Si(Li)型検出器)※5 | |||||
立体角 (30mm2/50mm2) |
0.13sr/0.24sr | 0.13sr/0.28sr | 0.13sr/0.23sr | ※6 | 0.09sr/- |
取出角 (30mm2/50mm2) |
25˚/22.3˚ | 25˚/24.1˚ | 25˚/25˚ | ※6 | 20˚/- |
機種発注時にいずれかの構成を選択してください。
高分解能電子線回折装置(オプション)が必要です。
試料二軸傾斜ホルダ使用時
高傾斜試料台使用時
エネルギー分散形X線分析装置はオプションです
EDSは取り付け不可
アプリケーション
JEM-2100に関するアプリケーション
JEM-2100: Applications in Nanotechnology
ギャラリー

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試料:Nb2O5
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試料:ハツカネズミの賢糸球体
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試料:カーボングラファイト
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