JEM-F200は、空間分解能と分析性能を向上させるとともに、多目的な使い方における操作性を考慮した新しい操作システムを搭載し、電子顕微鏡の初心者から熟練者まで思わず使いたくなるようなスマートな外観を備え、省エネルギー化とCO2削減をコンセプトとして開発された電界放出形透過電子顕微鏡です。
特長
動画紹介
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◆ JEM-F200 多機能電子顕微鏡の特徴、機能についてご紹介しています。
Smart design
JEM-F200 は『スマートさ』を追求した新たな装いになっています。
特に分析電子顕微鏡操作について、直感性を重視したユーザーインターフェースを新たに開発しました。
また、JEOL が積み重ねて追求してきたノウハウを設計に反映し、従来機に比べて機械的・電気的な安定性が大きく向上しました。
Quad-Lens condenser system
近年の電子顕微鏡は、明視野・暗視野TEM法から多様な検出器を駆使するSTEM法といった幅広い手法に対応することが求められています。
JEM-F200 は4段集束レンズによる新しい照射光学系"Quad-Lens condenser system" を搭載することで、電子線強度と収束角を独立にコントロールすることにより、さまざまな要求に応えることができます。
Advanced Scan system
JEM-F200 は、通常の照射系電子線走査機能に加えて、結像系電子線走査機能(オプション)を有する新しい走査システム"Advanced Scan System" を搭載しています。これにより、広視野STEM-EELS を実現します。
Pico Stage Drive
JEM-F200 はピエゾ駆動機構を用いることなくピコメートルオーダーのステップで駆動可能なPico stage drive を搭載しており、試料メッシュ全体の視野から、原子像オーダーの視野まで、幅広いダイナミックレンジの視野移動が可能です。
SPECPORTER (自動ホルダー挿入・取り出し装置)
試料ホルダーの出し入れは、特に初心者ユーザーにとって難しいとされてきた操作です。
JEM-F200は初心者ユーザーでも気軽に試料ホルダーの出し入れができるようにするためSpecPorter を搭載しました。
試料ホルダーを所定位置にセットし、スイッチ一つで安全にホルダーの挿入・取り出しができます。
Improved cold FEG
JEM-F200は冷陰極形電界放出形電子銃が搭載できます(オプション)。
高安定、高輝度、高エネルギー分解能を保証する冷陰極形電界放出形電子銃を用いることでEELS による化学結合状態分析を可能にし、高輝度電子線による分析時間の短縮、さらに光源由来の色収差を低減することにより高分解能での観察を可能とします。
Dual SDD
JEM-F200は高い分析感度を有する大口径シリコンドリフト検出器(SDD)を二本同時に搭載することができます(オプション)。
さらなる高感度化により、より短時間でダメージを抑えたEDS分析が可能です。
Environment Friendly
JEM-F200は透過電子顕微鏡として初めてECO モードを標準搭載しました。このECO モードは、装置を使用しない期間、最低限のエネルギー消費で装置を良好に維持し、消費エネルギーを節約するシステムです。
装置をECO モード状態にすることでエネルギー消費量を装置使用時の約1/5 に抑えることができます。
スケジューリング機能も有しており、指定の日時にECO モードから使用可能な状態に復帰させることができます。
仕様・オプション
仕様 | 超高分解能構成 | 高分解能構成 |
---|---|---|
分解能 | ||
TEM 粒子像 | 0.19nm | 0.23nm |
STEM-HAADF 像 | 0.14nm (冷陰極電界放出形電子銃搭載時)
0.16nm (ショットキー電界放出形電子銃搭載時) |
0.16nm (冷陰極電界放出形電子銃搭載時)
0.16nm (ショットキー電界放出形電子銃搭載時) |
加速電圧 | 200 , 80kV | |
主なオプショション | エネルギー分散形X線分光器(EDS)、電子線エネルギー損失分光器(EELS)、デジタルカメラ、TEM/STEMトモグラフィシステム |
カタログダウンロード
アプリケーション
JEM-F200に関するアプリケーション
汎用TEMを用いたクライオ電子顕微鏡観察 -氷包埋試料作製からクライオ観察まで-
岩石試料の総合非破壊分析ワークフロー ー元素分析から薄膜試料作製,TEM観察までー
4D-STEMとSTEM-EELSを用いたFinFETのplan-view観察
クライオトランスファーホルダーを利用したクライオTEM試料作製
アスベストの分析 ~TEMによる分析で、繊維一本から識別できます~
ギャラリー
Material: Si 110 High Resolution STEM
Sample: Si 110
Microscope: JEM-F200 HR pole-piece with CFEG
Condition: 200kV, STEM
STEM HAADF Magnification x12M
2048x2048 pixel 38 usec / pixel
With DigiScan
Material: Mono layer MoS2 sheet
Sample: Mono layer MoS2 sheet
Microscope: JEM-F200 HR pole-piece with CFEG
Condition: 200kV, STEM
Life Science: TEM image of ABS polymer at 80kV
Sample: ABS polymer
Microscope: JEM-F200 HR pole-piece with CFEG
Condition: 80kV, TEM
Sample preparation: microtome
Material: Improved Cold FEG
High brightness with small energy spread
Chemical-bonding state analysis of Carbon allotropes by EELS
Low Acceleration Voltage / 80kV
Sample
a) Single wall carbon nanotube
b) Graphite / high surface area graphite
c) Diamond
d) Amorphous carbon
Sample: Carbon allotropes
Microscope: JEM-F200 HR pole-piece with CFEG
Condition: 80kV, TEM image, EELS QuantumER
Material: STO/Dual SDD
Sample: Sr TiO
Microscope: JEM-F200 HR pole-piece with CFEG
Condition: 200kV, STEM, Dual SDD(100mm2x2) 512x512
関連製品
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