イオンクリーナーは透過電子顕微鏡の試料をグロー放電中に保持し、物理・化学反応を利用して試料上に付着した炭化水素汚染物を除去する装置です。電子顕微鏡内で電子線を試料に照射した際の、炭化水素系汚染物の収束による試料汚染（コンタミネーション）を発生させないようにします。
特長
試料をホルダーに装着したまま処理できます。
特殊なガス導入なしでクリーニングを行うことができます。
適用試料ホルダー
TEM：EM-21010（SCSH）および同形状の試料ホルダー
SEM：JSM-7000Fシリーズ 12.5mmφ 試料ホルダー
仕様・オプション
| 放電方式 | 水平電極型 |
|---|---|
| 使用圧力 | 35～40Pa |
| ターゲット | カーボン |
| 真空チャンバー | 内径 約120mm × 高さ 約40mm |
| 放電電圧 | 可変 |
| タイマー | 1、5、10、15、30、60分 |
| 真空系 RP | 10 L/min |
設置条件
| 所要電源 | AC100V、50/60Hz、200VA | |
|---|---|---|
| 寸法・質量 | 本体 | 250（幅）mm × 350（奥行）mm × 260（高さ）mm、約 11kg |
| ロータリーポンプ | 130（幅）mm × 228（奥行）mm × 165（高さ）mm、約 5.5kg | |
| 使用条件 | 室温 | 20±5 ℃ |
| 湿度 | 60%以下 | |
外観・仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
関連製品
関連製品
more info
