特長
設置スペースと運用コストを効率化
電子顕微鏡用試料と試料ホルダーをクリーニングし、保管するという二つの機能が一つのシステムで利用可能になりました。一方のチャンバーで試料のクリーニングを行い、続けてポンピングステーションでクライオホルダーのデュワーの焼きだしが可能です。
当システムには、試料ホルダー温度コントローラが組み込まれているため、追加で温度コントローラを購入したり一つのコントローラを都度移動させる必要がありません。この機能を組み込むことで、設置のための省スペース化だけではなく、追加で独立したポンピングステーションを導入する必要が無くコストを抑えることが出来ます。
インターフェイスの改良
タッチスクリーンのインターフェイスを採用し、確実にクリーニングを行うために予め設定された最適なレシピを呼び出すことが出来ます。
更に、世界中の研究室でお使い頂ける様、複数の言語から切り替えることが可能となっています。
レシピの最適化やクリーニングの操作を行う場合においても、一つの画面上で全ての設定操作を行うことが出来、パラメータの更新の度、複数の画面を切り替える必要がありません。また、ベントや真空排気時のステップバイステップの操作説明機能によって、不注意による試料や装置へのダメージを防ぎ安全に装置を運用することが出来ます。
低出力での動作 (2W)
低出力での動作によって、弱い試料(例えば、マイクログリットなど)のクリーニングや、クライオ電子顕微鏡観察用試料の親水化処理に適用することが可能です。自動調整機能によって、高周波(RF)プラズマ出力を適宜プラズマの状態変化に合わせて調整し、安定した動作を実現しています。本システム独自のH2/O2ガスとこの自動調整機能によって、効率的なクリーニングとスパッタによるダメージ低減、そして試料の昇温を抑えます。H2、O2、そしてArガスを独立して制御可能な三種のモデルから選択頂けます。
仕様・オプション
仕様
寸法 | (D) 58.4 cm × (W) 50.8 cm × (H) 76.2 cm |
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梱包重量 | 115Kg |
電源 | 100 – 200 VAC, 50 – 60 Hz, 400 W |
RF出力 調整範囲 自動調整ネットワーク |
:2 – 65 W :発生装置とチャンバー間でプラズマを効率的にカップリング |
真空排気系 | 2ステージ、速度可変ダイヤフラムポンプ(電子速度制御) |
排気速度 | 80 L/s (2.8 ft. 3/s) |
到達真空度 | 6.7e-4 Pa (5e-6 Torr) |
動作真空度 | 66.7 Pa (0.5 Torr) |
真空系 | コンパクトピラニ計チャンバー、真空ポンプ間インライン電磁バルブ 排気時間1分以下, ベント時間45秒以下 |
チャンバー(前面) 装着ポート |
2ポート(サイドエントリー型TEM、SEM試料ホルダー用アダプター) |
チャンバー(上面) チャンバー寸法 |
≤88.9 mmφ × (H)50.8 mm (SEM用ステージ、電子顕微鏡用真空部品、その他真空対応部品) |
チャンバー(側面) チャンバー寸法 |
65 mmφ ×(H)38 mm (直径3 mm TEM用グリッド (~25)、複数のSEM用スタブ、標準形状以外の大型試料など) |
クリーニングガス | プリセット、ユーザー設定レシピ – ガス混合比、RF出力、処理時間を設定可能 |
O2 圧力 / 純度 | 1.7 bar / 99.995% |
H2 圧力 / 純度 | 1.7 bar / 99.995% |
Ar 圧力 / 純度 | 1.7 bar / 認証済規格品(工業用など –±2%保証) |
モデル番号 タイプ
955.B | Solarus II システム (酸素ガス, 水素ガス) |
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955.A | Solarus II システム (酸素ガス, 水素ガス, アルゴンガス) |
955.N | Solarus II システム (酸素ガス, アルゴンガス) |
955.BH | Solarus II システム (酸素ガス, 水素ガス, ポンピングステーション) |
955.AH | Solarus II システム (酸素ガス, 水素ガス, アルゴンガス, ポンピングステーション) |
955.NH | Solarus II システム (酸素ガス, アルゴンガス, ポンピングステーション) |
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