プラズマクリーナー
SolarusⅡModel955 (GATAN社製)

特長

設置スペースと運用コストを効率化

電子顕微鏡用試料と試料ホルダーをクリーニングし、保管するという二つの機能が一つのシステムで利用可能になりました。一方のチャンバーで試料のクリーニングを行い、続けてポンピングステーションでクライオホルダーのデュワーの焼きだしが可能です。
当システムには、試料ホルダー温度コントローラが組み込まれているため、追加で温度コントローラを購入したり一つのコントローラを都度移動させる必要がありません。この機能を組み込むことで、設置のための省スペース化だけではなく、追加で独立したポンピングステーションを導入する必要が無くコストを抑えることが出来ます。

インターフェイスの改良

タッチスクリーンのインターフェイスを採用し、確実にクリーニングを行うために予め設定された最適なレシピを呼び出すことが出来ます。
更に、世界中の研究室でお使い頂ける様、複数の言語から切り替えることが可能となっています。
レシピの最適化やクリーニングの操作を行う場合においても、一つの画面上で全ての設定操作を行うことが出来、パラメータの更新の度、複数の画面を切り替える必要がありません。また、ベントや真空排気時のステップバイステップの操作説明機能によって、不注意による試料や装置へのダメージを防ぎ安全に装置を運用することが出来ます。

低出力での動作 (2W)

低出力での動作によって、弱い試料（例えば、マイクログリットなど）のクリーニングや、クライオ電子顕微鏡観察用試料の親水化処理に適用することが可能です。自動調整機能によって、高周波（RF）プラズマ出力を適宜プラズマの状態変化に合わせて調整し、安定した動作を実現しています。本システム独自のH₂/O₂ガスとこの自動調整機能によって、効率的なクリーニングとスパッタによるダメージ低減、そして試料の昇温を抑えます。H₂、O₂、そしてArガスを独立して制御可能な三種のモデルから選択頂けます。

仕様・オプション

仕様

モデル番号　タイプ

関連製品

EC-52000IC イオンクリーナー

イオンクリーナーは透過電子顕微鏡の試料をグロー放電中に保持し、物理・化学反応を利用して試料上に付着した炭化水素汚染物を除去する装置です。電子顕微鏡内で電子線を試料に照射した際の、炭化水素系汚染物の収束による試料汚染（コンタミネーション）を発生させないようにします。

JII-29080DMS 試料ホルダー予備排気装置

試料ホルダーを常にクリーンな真空中に保管

more info