金メッキ電極上の変色分析

カードエッジ基板は類似した電極が並んでいるため、光学顕微鏡 (LM　実体顕微鏡) で見つけた変色部と同一視野をSEMで探すことが困難です。
CLEMで変色部の光学像とSEM像を重ね合わせることにより、確実に変色部を特定し、色と組成の関係を素早く評価することができます。

光学顕微鏡像連動ソフトウェア^*を用いて、変色部とSEM像を一致させ、拡大して観察します。

* 光学顕微鏡像連動ソフトウェア
SEM操作画面上のSEMライブ像にあらかじめ取得してあったLM像を重ね合せるソフトウェアです。

光学顕微鏡（実体顕微鏡）で検出した金メッキ電極上の変色部をEDS分析した結果、変色部にSとCuの偏在を確認しました。

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