金属蒸着専用の電子銃です。ルツボと反射電子トラップが標準装備されています。
金属のハイレート蒸着、厚膜蒸着できます。
ルツボ後方の反射電子トラップにより、基板温度上昇の原因となる反射電子をトラップします。
厚膜蒸着、ハイレート蒸着しても、基板温度が低く抑えられます。
リフトオフ蒸着など、温度上昇をおさえたい蒸着に適しています。
ルツボは4点タイプと6点タイプの2種類があります。
容量も大きく、ルツボ側面も水冷されており、隣り合うルツボ間のクロスコンタミ対策もされています。
安定した蒸着ができます。
特長
反射電子トラップ 標準装備
高効率な反射電子トラップが組み込まれ、通常チャンバー内へ拡散する反射電子を捕獲します。
また、電子銃まわりの冷却が強化されています。反射電子の熱影響と蒸着源まわりからの輻射熱を抑えることにより、基板の温度上昇を抑えながらハイレートで蒸着することが可能です。
また反射電子照射による基板 / 基材や下地層へのダメージも抑制できます。
従来型電子銃では反射電子の熱影響や蒸発源まわりからの熱輻射により成膜中の温度上昇を招きます。
反射電子が非冷却部のチャンバー床面や壁面等に当たると加熱されるため、そこから二次三次的な輻射熱が発生します。
反射電子が直接基板に入射してしまう場合は、特に基板の温度上昇が大きくなります。
反射電子トラップの効果
基板ドームの近くに熱電対を設置し、Alを4 ミクロン蒸着した時の温度上昇を測定しました。
A点は、ルツボの直上。ルツボの熱輻射の影響を一番大きく受ける位置です。
B点は、ルツボの直上の横方向 (電子銃のY方向) の位置です。
C点は、ルツボの直上の奥方向( 電子銃のX方向) の位置。反射電子が当たる位置です。
グラフの赤ラインは、従来型電子銃 (203電子銃) の温度上昇です。
反射電子が当たる位置のC点は、非常に温度が上がりました。
グラフの青ラインは、BS-60210DEM電子銃の結果です。
反射電子トラップが設けてありますので、反射電子がトラップされ、C点の温度上昇が抑制されています。
Alを4 ミクロンも蒸着して、基板温度が60°C以下ですので、リフトオフ蒸着では、レジストが変形、硬化せず、 安定したリフトオフ蒸着ができます。
参考 反射電子
厚膜蒸着
大容量40 mLのオプションルツボ (4点または6点式) との組み合わせにより、厚膜蒸着や複数の蒸着材料の積層膜形成が可能です。
ハイレート蒸着
BS-60211DEM / BS-60210DEMより、さらにハイレートが必要な用途ではBS-60250DEM電子銃またはBS-60610BDSボンバード蒸着源をご検討ください
リフトオフプロセス
リフトオフのプロセスフロー
真空蒸着時の基板温度をレジスト膜の耐熱温度の約100°C以下に抑制、下地層となるレジスト膜パターンの形状崩れを防止し、リフトオフの歩留りを向上させることができます。
用途例) LED、SAWフィルター、パワーデバイス、MEMS等の電極膜 / 配線形成
仕様・オプション
BS-60210DEM / BS-60211DEM
| 形式 ※1 | BS-60210DEM / BS-60211DEM |
|---|---|
| 最大出力 ※2 | 10 kW (10 kV, 1 A) |
| 動作加速電圧 | -4 kV 〜 -10 kV |
| 加速電圧可変対応 | 無 |
| ビーム偏向角度 | 270° |
| ビーム偏向磁石 | 永久磁石 |
| ビームスキャン幅 | Φ50 mm (ルツボ中心より) |
| ビームポジション移動 | Φ50 mm (ルツボ中心より) |
| 動作圧力 | 5 × 10-5 Pa 〜 7 × 10-2 Pa |
| 冷却水流量 | 5 〜 8 L / min
(水温 10 〜 25°C、差圧 0.2 〜 0.35 MPa) |
| 外形寸法 (mm) | 243※3 (W) × 413 (D) × 187 (H) |
| 質量 | 約18 kg |
水口の違いにより型式が異なります。
最大出力は電源の最大出力で限定されます。
ルツボ
BS-60140H4M / BS-60141H4M
BS-60150H6M / BS-60151H6M
| 形式 ※1 | BS-60140H4M | BS-60150H6M |
|---|---|---|
| BS-60141H4M | BS-60151H6M | |
| ルツボ点数 | 4点 | 6点 |
| ルツボ形状 | Φ50 mm × H25 mm | |
| ルツボ容量 | 40 mL | |
| 冷却水 | 7 〜 12 L / min (水温 10 〜 25°C、差圧 0.2 〜 0.35 MPa) |
|
| 質量 | 約16 kg | 約19 kg |
水口の違いにより型式が異なります。
外形寸法
4点ルツボ / 駆動部はこの寸法が220 mmになります。
水口形状
BS-60210DEM / BS-60140H4M / BS-60150H6M
BS-60211DEM / BS-60141H4M / BS-60151H6M
適用フィラメント
P/N 780407369
5個 / 箱
Φ 0.8 リニアコイル 60210 / 60211用
適用フィラメントアッセンブリ
P/N 783106645
60210 / 60211用
フィラメントは含まれておりません
