基礎から応用研究まで
JEM-2200FS は、フィールドエミッション形電子銃を光源に持ちΩ形インカラム形エネルギーフィルタを搭載した分析電子顕微鏡です。
本装置のフィルタワークにより、試料中の元素分析はもちろん、その化学結合状態の分析もできます。ゼロロスフィルタ像や、エネルギー選択像からは観察の目的に応じた情報を得ることができます。
特長
インカラム形オメガフィルタ
最適化された光学系設計によりディストーションフリーを実現したインカラム形エネルギーフィルタにより高精度のエネルギーフィルタ像およびエネルギー損失スペクトルを得ることができます。
制御システム
電子銃 ・ レンズ ・ フィルタなどの光学系、ゴニオメータステージ、排気系などが全てコンピュータ制御されています。システムの高い安定性により常に良好なデータを得ることができます。
結像システム
中間レンズ 4 段、投影レンズ 2 段の新結像システムの採用により、幅広い倍率 ・ カメラ長範囲でエネルギーフィルタリングされた TEM 像および回折パターンのローテーションフリーを実現しました。
ピエゾコントロールゴニオメータ
ピエゾ素子を組み込んだ新しいゴニオメータステージは、原子レベルにおける視野選択のスムーズな操作性を実現しました。
仕様・オプション
| バージョン※1 | 超高分解能 構成（UHR） |
高分解能 構成（HR） |
試料高傾斜 構成（HT） |
試料冷却 構成（CR） |
ハイコントラスト 構成（HC） |
|---|---|---|---|---|---|
| 分解能 | |||||
| 粒子像 格子像 |
0.19 nm 0.1 nm |
0.23 nm 0.1 nm |
0.25 nm 0.1 nm |
0.27 nm 0.14 nm |
0.31 nm 0.14 nm |
| エネルギー分解能 | 0.8 eV（ゼロロス半値幅） | ||||
| 加速電圧 | 160 kV，200 kV※2 | ||||
| 最小可変幅 エネルギーシフト |
50 V 最大3,000 V（0.2Vステップ） |
||||
| 電子銃 | |||||
| エミッション方式 | ZrO/W(100)ショットキー方式 | ||||
| 輝度 | ≧4×108 A／cm2・sr | ||||
| 真空度 | ×10-8 Pa オーダ | ||||
| プローブ電流 | 0.5 nA at１ nm probe | ||||
| 電源安定度 | |||||
| 加速電圧 | ≦1×10-6／min | ||||
| 対物レンズ電流 | ≦1×10-6／min | ||||
| フィルタ電流 | ≦1×10-6／min | ||||
| 対物レンズ | |||||
| 焦点距離 | 1.9 mm | 2.3 mm | 2.7 mm | 2.8 mm | 3.9 mm |
| 球面収差係数 | 0.5 mm | 1.0 mm | 1.4 mm | 2.0 mm | 3.3 mm |
| 色収差係数 | 1.1 mm | 1.4 mm | 1.8 mm | 2.1 mm | 3.0 mm |
| 最小焦点可変量 | 1.0 nm | 1.4 nm | 1.8 nm | 2.0 nm | 5.2 nm |
| スポットサイズ | |||||
| TEMモード | 2～5 nm | 7～30 nm | |||
| EDSモード | 0.5～2.4 nm | 1.0～2.4 nm | - | 4～20 nm | |
| NBDモード | - | - | |||
| CBDモード | 1.0～2.4 nm | - | |||
| 収束電子回折 | |||||
| 収束角(2α) | 1.5～20 mrad以上 | - | |||
| 取込角 | ±10 ° | - | |||
| 倍率 | |||||
| MAGモード | ×2,000～ 1,500,000 | ×2,000～ 1,200,000 | ×1,500～1,000,000 | ×1,200～600,000 | |
| LOW MAGモード | ×50～1,500 | ||||
| SA MAGモード | ×10,000～800,000 | ×8,000～ 600,000 | ×8,000～500,000 | ×5,000～ 400,000 | |
| エネルギー選択像 有効視野サイズ |
10eV選択時最終像面(フィルム)上において直径80mm 2eV選択時最終像面(フィルム)上において直径25mm |
||||
| カメラ長 | |||||
| 制限視野回折 | 150～1,500mm | 200～2,000 mm | 250～2,500 mm | 300～3,000 mm | |
| EELS分散 | |||||
| スリット上 | 1.2 μm／eV at 200 kV | ||||
| 最終像面上 | 50～300 μm／eV at 200 kV | ||||
| 試料室 | |||||
| 移動量(XY／Z) | 2mm／0.2mm | 2mm／0.4mm | 2mm／0.4mm | 2mm／0.4mm | 2mm／0.4mm |
| 傾斜角(X／Y)※3 | ±25°／±25° | ±35°／±30° | ±42°／±30° | ±15°／±10° | ±38°／±30° |
| 傾斜角(X)※4 | ±25° | ±80° | ±80° | ±80° | ±80° |
| EDS※5 | |||||
| 立体角※6 | 0.13 sr | - | 0.09 sr | ||
| 取出角 | 25° | - | 20° | ||
機種発注時にいずれかの構成を選択すること。
80、100、120 kVは加速管ショート機構（オプション）によって可能
試料2軸傾斜ホルダ使用時
高傾斜試料台使用時
EDSはオプション
30mm2 検出器取付け時の値
カタログダウンロード
アプリケーション
JEM-2200FSに関するアプリケーション
ナノ結晶から水素結合を可視化: TEMとNMRのYOKOGUSHIアプローチ
Exploring Biological Samples in 3D Beyond Classic Electron Tomography
Atomic-Resolution Elemental Mapping by EELS and XEDS in Aberration Corrected STEM
ギャラリー
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