JEM-ARM200F ACCELARM 原子分解能分析電子顕微鏡走査透過像(STEM-HAADF)の分解能 0.08nm を実現

JEM-ARM200F ACCELARM は照射系球面収差補正装置を標準搭載し、STEM-HAADF像分解能 78pmを有する原子分解能分析電子顕微鏡です。

特長

STEM-HAADF像分解能 78pm^※1を保証

照射系球面収差補正装置を標準搭載し、機械的・電気的安定度を極限まで高めることで、世界最高レベルのSTEM-HAADF像分解能 78pm^※1、82pm^※2を実現しました。

また、収差補正された電子プローブは、通常の電界放出形透過電子顕微鏡に比べて、1桁以上高い電流密度を得ることが可能となりました。この鋭く細い大電流密度の電子プローブにより、原子レベルでの元素分析が可能になると共に、測定時間が大幅に短縮されスループットが大きく向上します。

※1 冷陰極電界放出形電子銃搭載時
※2 Schottky電界放出形電子銃搭載時

STEM-ABF像による軽元素カラムサイトの直接観察

JEM-ARM200F ACCELARM では、走査透過環状明視野像(STEM-ABF)を標準で取得することが可能です。
STEM-ABF像では結晶試料中の軽元素の原子位置を直接観察することができ、STEM-HAADF像との同時取得により、試料の構造解析に威力を発揮します。

大面積100mm²SDD^※3による原子分解能分析

日本電子製の大面積100mm² シリコンドリフト検出器(Silicon Drift Detector:SDD)^※3を搭載することにより、高速且つ高感度でEDSによる元素分析が可能となりました。JEM-ARM200F ACCELARM の収差補正された電子プローブと組み合わせることで、原子カラムマップも行うことができ、原子レベルの分解能での組成解析が可能です。

※3 オプション

冷陰極電界放出形電子銃^※4による観察・分析

冷陰極電界放出形電子銃(Cold-FEG)^※4は、従来のCold-FEGと異なりフラッシング直後から使用可能です。また、光源が小さいため、より高い分解能の像が得られます。さらに、Cold-FEGはエネルギー幅が狭いので、高いエネルギー分解能のEELS分析が可能であり、かつ色収差を低減することができます。

※4 オプション

結像系球面収差補正装置^※5

結像系球面収差補正装置^※5を搭載することにより、透過顕微鏡像(TEM)の分解能を110pmまで高めることが可能です。

※5 オプション

仕様・オプション

分解能
走査透過暗視野像	82pm（加速電圧200kV、ショットキー電界放出形電子銃搭載時） 78pm（加速電圧200kV、冷陰極電界放出形電子銃搭載時）
透過像（点分解能）	190pm（加速電圧200kV） 110pm（加速電圧200kV、結像系球面収差補正装置装着時）
倍率
走査透過像	X200～X150,000,000
透過像	X50～X2,000,000
電子銃
電子銃	ショットキー電界放出形電子銃冷陰極電界放出形電子銃（オプション）
加速電圧	200～80kV（標準200kV、80kV）
試料系
ステージ	ユーセントリックサイドエントリーゴニオメーターステージ
試料サイズ	3mmΦ
最大傾斜角	X軸：±25°　Y軸：±25°（2軸傾斜ホルダ使用時）
移動範囲	X,Y：±1mm　Z：±0.1mm（モータ駆動／ピエゾ駆動）
収差補正装置
照射系球面収差補正装置	標準組み込み
結像系球面収差補正装置	オプション
オプション
主な装着可能オプション	エネルギー分散形X線分析装置（EDS）電子線エネルギー損失分光器（EELS）デジタルCCDカメラシステム TEM/STEMトモグラフィーシステムバイプリズム