統合分析プラットフォーム FEMTUS™

FEMTUS™は、TEM (透過電子顕微鏡) で取得されるすべての情報—TEM像、STEM (走査透過電子顕微鏡) 像、EDS (エネルギー分散型X線分光)、EELS (電子エネルギー損失分光) など—を一つの環境で統合的に扱えるプラットフォームです。
透過電子顕微鏡に搭載された各種検出器から得られる多様なデータを一元管理でき、単一のソフトウェア上で効率的かつ直感的なデータ解析が可能です。

特長

GUIは初⼼者にも熟練者にも使いやすいシンプルな配置になっており、観察から分析をシームレスに⾏うことができます。また、⼀部の顕微鏡操作もFEMTUS™上から⾏うことができます。

測定条件の設定は⼀つのウィンドウで⾏うことができ、それぞれの各種測定⼿法を同時に⾏うといった複合的なデータ取得も可能です。

1. 分析エリアの形状を選択、2. 分析エリアを指定、3. 分析手法をクリック、4. 分析時間を決める、5. 分析開始

同時取得の特⻑として、各測定⼿法の特⻑を⽣かした分析が可能になります。例えば、重元素はEDS、軽元素はEELSを⽤いた分析を⾏うことで、あらゆる元素で⾼いS/N⽐でデータを得ることができ、効率的な分析が可能になります。

Sample : FinFET, Accelerating voltage : 200 kV, Number of pixels : 256 × 128, Dwell time : 2 ms, Probe currents : 800 pA

EDS (エネルギー分散型X線分光)

TEM/STEM像観察から分析へのシームレスな移行が可能 ^{※1 ※2}
⾼精度な定性‧定量分析 (点分析‧ライン分析‧マッピング)
走査像上で任意の矩形範囲を選択してマッピングが可能
連続複合分析が可能で、点分析だけでなくライン分析やマッピングも含めて実施可能
ドリフト補正領域の範囲と位置は任意に設定可能、⾼速ロスレス・ドリフト補正にも対応 ^※3
元素マップ収集中の試料変化を検証できる『プレイバック分析』に対応
Dual-SDD対応で、各検出器の信号を個別に取得可能
PyJEM スクリプトにも対応

⽇本電⼦製スキャンジェネレーターMDP (Multi Dimensional Processor) を使⽤
TEM像観察はFEMTUS™で制御可能なTEM⽤カメラ
⾼速ロスレス・ドリフト補正は全範囲設定

連続複合分析 (点‧ライン‧マッピング)

連続複合分析は、点分析だけでなく、ライン分析、マッピングを含めて⾏うことが可能です。マッピングにおける解像度の調整を各視野で設定することが可能です。

プレイバック分析

EELS (電子エネルギー損失分光)

⾼度な電⼦光学技術と⾼安定化技術に加えて豊富な⾃動調整機能により、FEMTUS™のGUI から最⼩限の操作で、EELS分析やエネルギーフィルター像・回折図形の取得を最適な電⼦光学条件のもとに⾏うことができます。

FEMTUS™上でのEELSを⽤いた⼆次元元素マップの結果です。
X線の発⽣効率が低いためにEDSでの分析が難しい炭素、窒素、酸素などの軽元素の⼆次元分布が明瞭に検出されています。また、特性X線のエネルギーが近く、EDSでの識別が難しい窒素とチタンの分布も明確に区別されています。
⾼感度・低ノイズで、⾼ダイナミックレンジと⾼速データ取得を両⽴したハイブリッド型ピクセル検出器と組み合わせたEELS分析により、強度が飽和していないゼロロスと⾼S/N⽐での内殻励起情報を同時に⼀度の測定で取得できています。