トナー（非導電性試料） W-SEM vs FE-SEM  二次電子像

化学／プラスチック・高分子

トナーは数µm程度の粒子で構成され、その粒子の表面には顔料や添加剤などの微粒子が付着しています。この微粒子がトナーの性能に大きな影響を与えることが知られています。トナーは非導電性試料であるため、低入射電圧での観察や導電性材料でのコーティングなど、帯電対策が不可欠です。 トナーをコーティングせずにW-SEM（JSM-IT210）を用いて低入射電圧で観察したところ、数ミクロン（µm）のトナーのサイズは確認できますが、トナー表面の微粒子を鮮明に観察することは困難です。対して、FE-SEM（JSM-IT800）で同条件で観察したところ、トナー形状を鮮明に観察でき、トナー表面に微粒子が付着していることも確認できました。