ジルコンの内部構造 カソードルミネッセンス(CL)
その他(複数分野・分析部門)
試料に電子線を照射すると様々な信号が発生しますが、一部には光(カソードルミネッセンス)を発生するものがあります。低真空ハイブリッド二次電子検出器(LHSED)は、そのようなカソードルミネッセンス主体の信号を取得できるPDモードがあり、二次電子や反射電子信号とは異なる情報を得ることができます。この写真は、ジルコン(Zircon; ZrSiO4)をPDモードで取得した像です。全体に見られる累帯構造は、結晶成長の過程でジルコンに含まれる不純物質(U, Thなど)の含有量や結晶内に存在する格子欠陥などに関連して形成されると考えられています。いわば、この結晶の「年輪」の役割を果たすものであり、詳しく調査することによってこの結晶が成長時にどのような環境に置かれていたのかを推定することができるようになります。
| アプリケーション | カソードルミネッセンス(CL) |
|---|---|
| 前処理 | コーティング |
| 撮影倍率 | x800 |
| 撮影条件 | 入射電圧10 kV, 高真空, LHSE-PD, 作動距離10 mm |
| 関連製品 | JSM-IT510 InTouchScope™ 走査電子顕微鏡 受託分析 |
