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絶縁物の直接観察が可能なエネルギーフィルタ付き 超高分解能FE-SEM
JSM-7401Fは、高輝度のコニカル形FE電子銃および低収差のコニカル形対物レンズ(セミインレンズ)を組合わせた超高分解能走査電子顕微鏡です。
総合安定性の向上(耐震性、エレクトロニクスの安定度)により、保証分解能1nmが安定して得られ、最高倍率100万倍での観察が可能となりました。また、信号選別機能をあわせ持ち、ナノ構造物の試料表面の特長も得られます。
特長
JSM-7401Fは、高輝度のコニカル形FE電子銃および低収差のコニカル形対物レンズ(セミインレンズ)を組合わせた超高分解能走査電子顕微鏡です。
総合安定性の向上(耐震性、エレクトロニクスの安定度)により、保証分解能1nmが安定して得られ、最高倍率100万倍での観察が可能となりました。また、信号選別機能をあわせ持ち、ナノ構造物の試料表面の特長も得られます。

特長
高安定性
最高倍率100万倍まで観察できます
極低加速電圧で高分解能
最低加速電圧100V、二次電子分解能 1.5nm(1kV・GBモード)
エネルギーフィルタ
ワンタッチで最適条件が得られるNew r-filter
ジェントルビームによる試料表面ダメージのない観察
多様な観察分析に対応
エネルギー分散形X線分析装置(EDS)*
リトラクタブル反射電子検出器*
インレンズ反射電子検出器*
透過電子検出器(TED)*
完全自動照射系
加速電圧変更後の機械的軸合わせ不要
対物レンズ絞りの選択・軸合わせ不要
開き角自動最適化レンズ搭載
快適な操作性
1280×1024画素高精細デジタルライブ画像
拡張性の高い大形試料室
モータ駆動ユーセントリックステージ
ステージナビゲーションシステム
清浄な試料観察環境
試料交換室を通しての試料交換
フォアライントラップの組込み
液体窒素トラップ(試料汚染防止装置)*
ワンアクション試料交換機構
オプション
ジェントルビーム 極低加速電圧での高分解能観察
ジェントルビーム(GB)モードは、試料のダメージが小さくなるように入射電子を試料直前で減速し、試料内部への拡散を極力小さくして試料の極表面を観察するモードです。

試料直前で入射電子を減速します。加速された二次電子はNew r-filter内壁に衝突し、二次電子を発生します。

金の蒸着粒子

高分子家結晶(無蒸着)
New r-filter
New r-filterは二次電子制御電極、反射電子制御電極、フィルタ電極を組合わせたユニークなエネルギーフィルタです。試料表面に電子ビームを照射すると、試料表面からさまざまなエネルギーを持った電子が放出されます。JSM-7401Fでは複数の静電場を組合わせることにより、入射電子をレンズ系の中心に維持しながら試料からの二次電子・反射電子を選択検出します。
ワンタッチで最適条件
New r-filterの操作は、分かりやすいメニューウィンドウで行います。
メニューウィンドウ上には、試料の最表面情報から組成情報まで自由に切換えられるようにSE、BE、Sb、Bsなどのボタンが用意されています。Sb、Bsの各々のボタンは、混合する二次電子・反射電子のエネルギー帯を連続的に調整することができ、観察目的によって最適なコントラストを得ることができます。


New-filterの設定により二次電子・反射電子を選択検出します。

New-filterの設定による信号の検出
各種モードでの信号検出
SEモード(二次電子検出)
SEモードは純粋な二次電子を検出するモードです。 二次電子を検出することで、エッジ効果による凹凸に富んだ表面の形状を観察することができます。
写真(1)では、WやAlの層の凹凸が明瞭に観察されます。

(1)SEモード
BEモード(反射電子検出)
BEモードは反射電子の信号を主に検出するモードです。反射電子を検出することで、組成の差によるコントラスト像を得ることができます。
写真(2)では、原子番号の高いW部分が白く見え、原子番号の低いAl表面では、SEモードで観察できた細かな凹凸は見えなくなり、組成の差が明瞭になっています。

(2)BEモード
Sbモード(二次電子優先)
Sbモードは二次電子の信号(S)をベースに反射電子の信号(b)を任意の割合で混合するモードです。
写真(3)では、二次電子による凹凸像に反射電子の持つ組成情報を加えることで、二次電子だけの像より、境界面が鮮明な像を得ることができます。

(3)Sbモード
Bsモード(反射電子優先)
Bsモードは反射電子の信号(B)をベースに二次電子の信号(s)を任意の割合で混合するモードです。 反射電子による組成コントラス像と、二次電子のエッジ効果による凹凸像の両方の情報を同時に検出できます。
写真(4)ではWの組成像、Alの凹凸像が見えます。

(4)Bsモード 1kV
半導体の断面
アプリケーション
JSM-7401Fに関するアプリケーション
JSM シリーズがアスベスト繊維の観察・分析を支援します!:JSM-7401F、JSM-6480LA
関連製品
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冷却水循環装置 KNO-1400G
電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)の装置内部を冷却する為の、空冷式一体型送水装置のご紹介です。冷却水温度を高安定度に常に保ちながら、FE-SEMの像観察の一役を担います。お客様水道設備による冷却水送水また冷却後の排水で無限の冷却水を使用するのではなく、FE-SEM内、冷却専用として、本装置の水槽内の冷却水を循環させますので、環境にやさしい冷却水の供給を実現します。尚、FE-SEMの油拡散ポンプ排気系専用装置です。