環境にやさしい冷却水の供給を実現！ 空冷一体型、冷却水温度を±1℃の高安定度を保つ冷却水循環装置
電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)の装置内部を冷却する為の、空冷式一体型送水装置のご紹介です。
冷却水温度を高安定度に常に保ちながら、FE-SEMの像観察の一役を担います。
お客様水道設備による冷却水送水また冷却後の排水で無限の冷却水を使用するのではなく、FE-SEM内、冷却専用として、本装置の水槽内の冷却水を循環させますので、環境にやさしい冷却水の供給を実現します。
尚、FE-SEMの油拡散ポンプ排気系専用装置です。
特長
冷却水循環でランニングコストを抑えます
水道設備による冷却水送水/排水での支水冷却に比べ、ランニングコストを抑えます。
さらに温度制御上の加温にはヒーターを使用しない方式を採用し、使用電力低下を実現しました。
冷却水温度を高精度に制御し、装置内部を高安定に保ちます
冷却水温度を±0.1℃の範囲に保ちながら冷却水を循環させますので、電子顕微鏡の像観察を高安定に保ちます。
装置本体の停止制御に対し、遅延停止する機能を有します
本装置は装置本体の停止信号を受け、約10分の遅延時間を経て停止するよう連動機能を標準で有しています。またオペレータの冷却水装置停止忘れも生じません。
コンパクトな設計で静音、省スペースを実現
従来までご使用の装置に比べ装置稼働音も静かであり、省スペースでご使用頂けます。
各種保護回路を装備し安全対策の充実
水槽内冷却水低下モニター等、保護回路に加え、電源入力部には漏電ブレーカを採用し、安全対策を充実しました。
仕様・オプション
| 循環方式 | 密閉型循環（送水機能と冷却機能の一体型） |
|---|---|
| 温度調整範囲 | 17～23℃ |
| 温度調整精度 | ±0.1℃ |
| 冷却能力 | 1,400 W（1,200 kcal/h）at 温度設定20℃ |
| 水槽材質 | SUS304 |
| 容量 | 10リットル |
| 寸法，重量 | 540mm(幅)×575mm(奥行)×680mm(高さ)，約90kg |
| 定格電源 | AC100 V（15A） 50/60 Hz |
適用製品
JSM-6330F, 6335F, 6340F, 6500F, 6700F, 6701F
JSM-7000F, 7001F, 7400F, 7401F
その他
上記適用機種のFE-SEMターボモレキュラポンプ排気系に対しましては、本装置の姉妹装置SM-78170DCWCが適合します。
よりコンパクトで省スペースになっています。
本装置はCEマーキング適合機器です。
| 適合規格 | 安全試験 | IEC61010-1（3rdEdition):2010 |
|---|---|---|
| EMC試験 | EN61000-6-3:2007+A1:2011 | |
| EN61000-3-2:2006+A1:2009+A2:2009 | ||
| EN61000-3-3:2013 | ||
| EN61000-6-2:2005 |
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